热铁盘法抛光CVD金刚石的微观表面研究

• 作者: 张建立 李钝 马泳涛 马胜钢
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热铁盘法 CVD金刚石 抛光 微观表面
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 57-61,65
• 页数: 6页
• 分类号: TB43|TQ164
• 字数: 2741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2008.04.012

摘要

用原子力显微镜对热铁盘法抛光CVD金刚石达到Ra0.016 μm的表面进行观察.在微观表面重现的基础上,对不同方向的表面粗糙度进行探测.发现抛光后的金刚石表面的粗糙度呈现出一定的方向性,最大粗糙度和最小粗糙度方向,两个方向相互垂直.三维形貌图显示,金刚石表面存在较少数量的由点到凸峰,且较大凸峰的高度在50～60 nm之间,是较小凸峰高度的2～3倍.影响表面粗糙度值的因素不仅有表面凸峰的高度,还应考虑表面凸峰的数量和方向性.这种表面特征与抛光时采用的直压式运动方式有着直接联系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马泳涛	郑州大学机械工程学院	29	120	6.0	9.0
2	马胜钢	郑州大学机械工程学院	59	204	7.0	10.0
3	李钝	郑州大学信息工程学院	22	142	7.0	11.0
4	张建立	郑州大学机械工程学院	37	133	7.0	10.0