热处理对PZT薄膜织构形成的影响

• 作者: 刘翠华 王久石
• 来源期刊: 四川师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 数学
• 关键词: Pb(Zr,Ti)O3 热处理 薄膜取向 铁电性
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 114-117
• 页数: 4页
• 分类号: O164
• 字数: 1404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8395.2008.01.028

摘要

分别采用传统热处理(CFA)和快速热处理(RTA)对室温溅射在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上的Pb(Zr,Ti)O3 (PZT)进行了晶化处理.结果表明:RTA倾向于形成(111)占优取向,而CFA倾向于形成(100)占优取向.不同工艺条件下的取向选择来源于形核机制的不同.在CFA条件下,形核在薄膜表面的PbO(100) 处发生,导致(100)占优取向;在RTA条件下,形核在基片附近的Pt3Pb(111)/PZT界面处发生,导致(111)占优取向.铁电性能测试表明,由RTA处理得到的具有(111)占优取向的PZT薄膜剩余极化达到35 μC/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘翠华	西华大学材料科学与工程学院	8	21	2.0	4.0
2	王久石	西华大学材料科学与工程学院	8	19	3.0	4.0