微加速计固有频率的推导及验证

• 作者: 熊继军 范波 郭虎岗 高建飞
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 固有频率 微加速度计 Rayleigh-Ritz公式
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1715-1722
• 页数: 8页
• 分类号: TM302
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.09.015

摘要

为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性,避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的.文中针对一种四边八梁结构的高g值压阻式加速度计,通过力学知识,简化结构并推导出其固有频率的理论计算公式,利用有限元仿真软件和测试高g值加速度计频率特性的方法,对该理论公式进行了仿真和实验验证,证明该理论公式的正确性和可用性.同时,文中介绍的简化结构的模型,能够用于复杂结构的应力、应变等的求解,验证的实验方法可以用于高g值加速度计固有频率的测试.而且,在加速度计结构的设计过程中,直接利用固有频率公式计算出结构的固有频率,从而简化加速度计的结构设计和优化过程,设计出最合理的固有频率结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	111	702	13.0	19.0
2	范波	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	6	54	4.0	6.0
3	郭虎岗	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	41	2.0	4.0
4	高建飞	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0