CMOS SnO2气体传感器模型与热仿真

• 作者: 刘肃 席彩红
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2气体传感器 肖特基势垒 Freundlich等温吸附
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 71-73
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1801字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.04.023

摘要

为了分析CMOS SnO2气体传感器的工作,有必要建立合适的模型,采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freundlich等温吸附很好地解释了SnO2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系,利用ANSYS 7.0对实际设计的传感器进行了热仿真,这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘肃	兰州大学物理科学与技术学院	68	261	9.0	11.0
2	席彩红	兰州大学物理科学与技术学院	1	1	1.0	1.0