应用于等离子显示驱动的高压集成电路工艺

• 作者: 叶晓伟 洪慧 韩雁
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子平板显示屏 扫描驱动集成电路 场氧栅 高压驱动电路
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 计算机技术、电信技术
• 页码范围: 1715-1718
• 页数: 4页
• 分类号: TN43
• 字数: 3014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2008.10.012

摘要

介绍了等离子显示板(PDP)扫描驱动集成电路(IC)的结构和工作原理,提出了一种与2.0μm标准CMOS工艺完全兼容的新型高压BCD工艺.设计了新型场氧作厚栅HV-pMOS器件和薄栅氧HV-nVDMOS器件,开发了一种新型的PDP扫描驱动集成电路.采用此工艺可以节省三个光刻版、两次注入(HV-N阱和PDA)和一次氧化工艺,有效地降低工艺复杂度和生产成本.最终流片和测试结果表明,HV-nVDMOS和HV-pMOS管的耐压均超过165 v,达到系统设计要求.当电源电压为90 V、负载为200 pF时,PDP扫描驱动芯片的上升沿和下降沿时间分别为165和30ns,这充分验证了芯片具有很强的驱动电流能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩雁	浙江大学微电子与光电子研究所	62	299	9.0	15.0
2	叶晓伟	浙江大学微电子与光电子研究所	6	56	3.0	6.0