多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置

• 来源期刊: 有机硅氟资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 节能增效 多晶硅 炉体 铸锭 装置 热场 制造技术 加热器
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 页码范围: 27
• 页数: 1页
• 分类号: TF083

摘要

一种多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，属多晶硅铸锭炉热场结构的设计与制造技术领域，主要由炉体（11），置于炉体（11）内的保温笼体（5），置于保温笼体（2）上部的保温顶板（4）、下部带支柱（10）的保温底板（6），置于保温笼体（5）内固定于保温顶板（4）上的加热器（3），固定于支柱（10）顶部带坩埚（9）的热交换台（7），置于加热器（3）和热交换台（7）之间的保温环条（1）等构成。