不同退火工艺Pt电极上沉积溶胶凝胶Pb(Zr,Ti)O3薄膜的织构演化

• 作者: 杨帆 费维栋
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: PZT薄膜 织构 X射线衍射 Pt电极
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 1760-1765
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 1613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2008.10.016

摘要

利用溶胶凝胶工艺在Pt电极上沉积了PZT薄膜,选用传统退火及其快速退火工艺制备两种Pt基底(CTA-Pt和RTA-Pt),并采用X射线衍射广角及其ù扫描技术分别研究了Pt电极退火工艺对溶胶凝胶PZT结构及其织构演化的影响.研究结果显示:在传统退火工艺制备Pt电极上沉积的薄膜为(111)择优取向,而在快速退火工艺制备Pt电极上沉积的薄膜表现为(100)织构;分析表明PZT薄膜的织构演化可能与Pt电极在不同退火工艺下的内应力差异有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨帆	东南大学江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室	84	551	11.0	21.0
5	费维栋		33	169	8.0	11.0