Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响

• 作者: 吴卫东 唐永建 孙卫国 李盛印 王锋 王雪敏
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光气相沉积 类金刚石薄膜 铁嵌埋 微观结构 电导率
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2027-2031
• 页数: 5页
• 分类号: O484.2
• 字数: 2408字
• 语种: 中文

摘要

采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜.用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析.利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流一电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影响.XPS和TEM表明,Fe纳米颗粒周期性地均匀地嵌埋在碳薄膜中.拉曼光谱表明薄膜中的C为典型的类金刚石结构,Fe纳米颗粒促进芳香环式结构的形成,薄膜结构的有序度提高.电流一电压曲线表明,Fe纳米颗粒的嵌埋导致薄膜的室温电导率增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	王锋	四川大学原子与分子物理研究所	23	81	6.0	7.0
7	王雪敏	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	16	26	4.0	5.0
8	李盛印	四川大学原子与分子物理研究所	2	12	2.0	2.0
12	孙卫国		2	13	2.0	2.0