双色滤光片光刻剥离技术研究

• 作者: 何英杰 王海珍 苏现军
• 来源期刊: 内江科技
• 学科: 化学
• 关键词: 双色滤光片 光刻剥离 聚酰亚胺
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 高校论坛
• 页码范围: 100,147
• 页数: 2页
• 分类号: O6
• 字数: 4243字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1436.2008.11.085

摘要

文中利用聚酰亚胺高聚物的耐温性和高粘度性,巧妙地和光刻胶结合,解决了厚膜镀制中光刻胶炭化难以剥离的问题;利用聚酰亚胺在碱性显影液中有很好的可溶性,优化了光刻胶和聚酰亚胺的厚度比,得到了好的工艺参数和易于剥离的面形,解决了小图形光刺剥离的难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海珍		11	33	4.0	4.0
2	何英杰		8	21	3.0	4.0
3	苏现军		7	15	2.0	3.0