镁含量和热处理对Zn1-xMgxO薄膜结构和发光性能的影响

• 作者: 刘艳美 周军 方庆清 李貌 王保明 王胜男 闫方亮
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 氧化锌 结构 禁带宽度 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 6614-6619
• 页数: 6页
• 分类号: O6|O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.10.088

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.1,0.2,0.3,0.4,0.5,0.6,0.7)薄膜.X射线衍射谱(XRD)测试结果发现,在0.1<x<0.3范围内,薄膜仍然保持氧化锌六角纤锌矿结构,(00 2面衍射峰位向大角度方向移动,超过0.3时出现氧化镁立方相.对镁含量为0.1,0.2,0.3薄膜的光致发光谱研究表明:紫外发光峰随镁含量的增加向短波方向移动.对于Zn0.9Mg0.1O薄膜,在5,5.5和6℃/min的升温速率下,升温速率越快结晶程度越好.在相同升温速率下,随着退火温度从500℃升高到560℃,样品的结晶程度变好,当退火温度达到590℃时,结晶质量下降.