金属互连电迁移噪声的多尺度熵复杂度分析

• 作者: 何亮 庄奕琪 李伟华 杜磊 陈建平
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电迁移 噪声 多尺度熵 复杂度
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 6545-6550
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.10.076

摘要

针对传统频域方法用于分析金属铝互连中的噪声信号的局限性,本文采用多尺度熵方法分析电迁移噪声时间序列.结果表明在电迁移早期,噪声信号较不规律,复杂度较大;随空洞成核的发生,噪声信号规律性增强,复杂度明显减小,反映出随电迁移过程的进行系统的混乱度不断减小.通过与传统表征参量的对比,证明多尺度熵能够对电迁移失效过程进行表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄奕琪	西安电子科技大学微电子学院	183	1168	15.0	22.0
2	杜磊	西安电子科技大学技术物理学院	99	486	13.0	18.0
3	何亮	西安电子科技大学技术物理学院	36	212	7.0	14.0
4	李伟华	西安电子科技大学微电子学院	16	98	6.0	9.0
5	陈建平	西安电子科技大学技术物理学院	1	20	1.0	1.0