步进扫描投影光刻机同步机制研究

• 作者: 周云飞 杨亮亮 潘海鸿 罗福源
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 步进扫描投影光刻机 同步控制 状态同步 高速高精运动控制
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 20-23,43
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文

摘要

分析了步进扫描投影光刻机的同步运动过程,将各个分系统分为同步主系统和同步从系统,采用串行同步总线实现了同步主系统的状态发布;分析了分系统与自身数据采集系统的同步通信,采用高速串行传输链路实现了分系统与远程数据采集系统的数据采集与通信;搭建了同步实验平台,对步进扫描投影光刻机的同步机制进行了验证.实验证明该平台稳定可靠,满足系统同步性能要求和工程要求.