不同晶粒尺寸对CVD金刚石膜机械性能的影响

• 作者: 何敬晖 玄真武 秦松岩 苗雨新 董长顺 陈磊
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 纳米 微米 细晶粒 机械性能
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2009.05.002

摘要

采用热丝辅助化学气相沉积(CVD)工艺制备出纳米、微米及细晶粒金刚石膜材料.观察了这三种金刚石膜的表面形貌并对上述金刚石膜的物理机械性能包括抗弯强度和耐磨性进行了实验性研究.结果表明,细晶粒结构的金刚石膜具有最高的抗弯强度.纳米结构的金刚石膜耐磨性最好.综合两个技术指标认为:细晶粒金刚石膜是三种晶粒结构中最佳的刀具制造材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何敬晖		7	41	3.0	6.0
2	玄真武		13	123	5.0	11.0
3	董长顺		10	70	4.0	8.0
4	秦松岩		7	39	4.0	6.0
5	苗雨新		1	5	1.0	1.0
6	陈磊		5	14	3.0	3.0