溶胶-凝胶法制备MgxZn1-xO薄膜及性能研究

• 作者: 刘爱云 张建芹 王清海
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 物理学
• 关键词: MgxZn1-xO薄膜 溶胶-凝胶法 透过率 禁带宽度 I-V特性
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 103-105
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4

摘要

采用溶胶-凝胶法在石英玻璃片衬底上制备了Mg^2＋掺杂的ZnO（MgxZn1-xO）薄膜，研究了Mg^2＋掺杂对ZnO薄膜结构和紫外透过率的影响；在氧化物薄膜上真空蒸镀了A1叉指电极，制得紫外原型探测器件，测试了FV特性。结果表明，Mg^2＋掺杂后，MgxZn1-xO薄膜为纤锌矿结构，随着x值增加，晶格常数C逐渐减少，a逐渐增大，Mg^2＋掺杂抑制了（002）晶面的生长；紫外透过光谱表明，Mg^2＋掺杂后吸收边发生蓝移，可提高ZnO薄膜的禁带宽度；FV特性曲线表明，正向偏压下探测器的暗电流和光照电流随外加偏压呈线性增长，但光照电流与暗电流的差别较大。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王清海		14	40	3.0	6.0
2	刘爱云		8	14	3.0	3.0
3	张建芹		7	14	3.0	3.0