退火对MgxZn1-xO薄膜特性的影响

• 作者: 张宝林 朱慧超 李香萍 杜国同 董鑫
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 镁锌氧合金 金属有机化合物气相沉积 X射线衍射 光致发光光谱 原子力显微镜 退火
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 页码范围: 1613-1616
• 页数: 4页
• 分类号: O614.24+1
• 字数: 2639字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2007.09.002

摘要

采用MOCVD法在c面蓝宝石衬底上生长出了高质量的MgxZn1-xO薄膜.研究了退火对MgxZn1-xO薄膜各种特性的影响.将样品分别在真空和氧气中退火1 h.X射线衍射研究发现,在真空中,尤其是在氧气中退火的样品的(002)峰均增强.由原子力显微镜观察发现,在真空中退火样品的表面与未退火样品的表面几乎相同,而在氧气中退火后样品的表面变得光滑了很多.从光致发光光谱中发现,真空退火后的样品的紫外光谱峰显著增强,而深能级发射峰几乎消失.在氧气中退火后样品的紫外光谱峰减弱而深能级发射峰显著增强.所以退火对MgxZn1-xO薄膜的各种性质具有重要的影响,通过退火可调节MgxZn1-xO的晶体质量与光学质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜国同	大连理工大学物理与光电工程学院	41	204	8.0	13.0
3	董鑫	大连理工大学物理与光电工程学院	7	23	3.0	4.0
4	朱慧超	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室	3	4	1.0	2.0
5	张宝林	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室	14	31	3.0	5.0
6	李香萍	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室	4	18	3.0	4.0