砷化镓衬底CVD金刚石薄膜辐射探测器的研究

• 作者: 吴斌 汪建华 满卫东 熊礼威
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 辐射探测器
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 103-107
• 页数: 5页
• 分类号: O53
• 字数: 2836字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2009.02.009

摘要

在砷化镓(GaAs)衬底上采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备了金刚石薄膜,并对制备的薄膜进行抛光、表面氧化、退火等处理以提高薄膜质量,再用磁控溅射法在薄膜表面沉积金(Au)铝(Al)电极,制备了简易的CVD金刚石薄膜辐射探测器.采用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)技术对制得的金刚石薄膜质量进行了分析研究.结果表明,薄膜为[100]晶面取向,表面平整,杂质含量低.采用5.9keV55FeX射线对所制备的探测器进行辐射实验,测出其光电流和暗电流特性,从而对辐射探测器性能进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	吴斌	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	6	57	3.0	6.0
3	满卫东	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	45	370	11.0	16.0
4	熊礼威	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	37	243	9.0	14.0