超高/极高真空校准研究进展

• 作者: 冯焱 卢耀文 徐婕 成永军 李得天 赵澜
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超高/极高真空校准 分子束法 压力衰减法 流导调制法 分流法
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 641-648
• 页数: 8页
• 分类号: TB77
• 字数: 5533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.06.11

摘要

本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展.介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点.从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表面处理技术和真空获得技术的进展,在10~(-10)Pa～10~(-8)Pa压力范围的超高/极高真空校准技术也取得了可喜的进展,校准系统的研制、维护成本日趋低廉,校准方法更为简单,校准结果更为准确.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	冯焱		51	463	12.0	17.0
3	卢耀文		15	127	8.0	10.0
4	赵澜		28	161	8.0	10.0
5	成永军		39	271	9.0	13.0
6	徐婕		10	74	6.0	8.0