硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 预处理工艺 表面沉积 硬质合金 梯度法 表面预处理 强度降低 工艺流程
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 37
• 页数: 1页
• 分类号: TS224.2

摘要

本发明针对目前的现有的硬质合金表面沉积CVD金刚石膜预处理工艺中棱边和尖角上脱Co的速度比面上脱Co的速度快，造成棱边和尖角处强度降低，影响产品的性能，甚至还会造成棱边和尖角蚀损等问题，发明了→种硬质合金表面沉积CVD金刚石膜的梯度法预处理工艺，它的主要工艺流程为：抛光（1）→清洗（2）→刻蚀WC（3）→清洗（4）→第一次刻蚀co（5）→清洗（6）→干燥（7）→涂胶（8）→第二次刻蚀co（9）→清洗（10）→溶胶（11）→植晶（12），尤其是其中的涂胶工艺保证了硬质合金表面预处理后满足CVD金刚石膜的沉积需求，