SiC薄膜的阻氚性能研究

• 作者: 但贵萍 曾俊辉 杜良
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: SiC薄膜 氚渗透 阻氚 不锈钢
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2009.01.006

摘要

在不锈钢基体表面用离子束混合技术沉积SiC薄膜,然后用能量为5 keV的H+对其辐照直至剂量达到1×1018/cm2,再用二次离子质谱分析(SIMS)分析H+在SiC薄膜中深度分布和正离子谱,研究薄膜的阻氢性能和阻氢机理;最后采用渗透实验对涂覆在不锈钢基体表面的SiC材料的氚渗透系数进行测试,对其阻氚性能进行验证.结果表明,在不锈钢基材表面涂覆的SiC薄膜具有良好的阻氢性能,可将氚的渗透率降低4个数量级以上,SiC薄膜的阻氢是由于氢与薄膜中的硅、碳悬挂键反应形成诸如C-H、C-H2、C-H3、Si-H、Si-H2和Si-H3引起的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	但贵萍	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	40	154	6.0	11.0
2	杜良	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	14	61	4.0	7.0
3	曾俊辉	中国工程物理研究院核物理与化学研究所	15	58	3.0	7.0