纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究

• 作者: 侯安州 倪鹤南 徐爱兰 惠春 李敏
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶(Sol-Gel) 薄膜体声波谐振器 纳米晶PZT薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 声表面波技术
• 页码范围: 149-151
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 1500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2009.02.001

摘要

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器.用X-射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面,晶粒平均尺寸为50～60 nm.介电性能测试结果表明,介电常数保持约800,损耗角为0.02.用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为2.91 GHz和3.01 GHz,机电耦合系数为8.18%.在敏感元电极上加载1 μL浓度为0.2 μg/μL的磁性微球溶液,谐振频率降低了0.09 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠春	上海交通大学生命科学技术学院	25	181	9.0	13.0