静电悬浮加速度计关键技术剖析

• 作者: 宋仁旺 陈琳英
• 来源期刊: 计算机工程与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性传感器 加速度计 静电悬浮 PID控制器
• 年，卷（期）: 2009,（34）
• 所属期刊栏目: 研发、设计、测试
• 页码范围: 67-70,73
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 3556字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3778/j.issn.1002-8331.2009.34.021

摘要

对静电悬浮加速度计的关键技术进行了分析,给出了结构参数、电容检测器的输出电压与位移的关系,分析了PID控制器的作用和残余气体的阻尼作用,导出了线加速度和角加速度的检测公式,指出了辐射计效应对加速度噪声有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋仁旺	太原科技大学电子信息工程学院	21	60	5.0	7.0
2	陈琳英	太原科技大学应用科学学院	9	20	3.0	4.0