强流氧离子注入机装卸片控制系统

• 作者: 汤辉 罗宏洋 龙娟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 微粒污染 全自动 装卸片
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 基础技术应用
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 912字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.09.007

摘要

介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤辉	中国电子科技集团公司电子第四十八研究所	19	39	3.0	5.0
2	龙娟	中国电子科技集团公司电子第四十八研究所	3	2	1.0	1.0
3	罗宏洋	中国电子科技集团公司电子第四十八研究所	4	8	2.0	2.0