基于热电堆结构的微型热传导真空传感器

• 作者: 梁平治 程正喜 陈世军 马斌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热传导真空传感器 热电堆 塞贝克效应 微机电系统 四甲基氢氧化铵 有限元分析
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 218-223
• 页数: 6页
• 分类号: TB77|TN377|TP212
• 字数: 4512字
• 语种: 中文

摘要

本文描述了一种与CMOS工艺完全兼容的热电堆微型热传导真空传感器.该传感器可在商业化的标准CMOS生产流水线上进行流片,配合后续的无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,即可完成全部制造程序.器件敏感部分为124μm×100μm的多层复合薄膜架空结构,其卜制作了n型多晶硅加热器、20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆.利用加热器对复合薄膜加热,在不同的真空状态下,薄膜呈现不同温度,温度值由热电堆转换为温差电动势输出.本文在以下方面进行详细描述:1.器件的结构设计和制造工艺;2.器件的稳态和瞬态有限元分析;3.测试结果与理论分析的对照.结果表明,在加热器1.5V恒压驱动条件下,器件的气压敏感范围为0.1Pa～l05Pa(空气),此时热电堆输出电压范围为26mV～50mV,最大响应时间预计为1.4ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁平治	中国科学院上海技术物理研究所	28	252	9.0	15.0
2	程正喜	中国科学院上海技术物理研究所	9	21	3.0	4.0
3	马斌	中国科学院上海技术物理研究所	22	129	7.0	10.0
4	陈世军	中国科学院上海技术物理研究所	20	98	5.0	8.0