大型单晶炉炉内压力的控制研究

• 作者: 张红勇 方军 王建春 赵泰延
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 机械泵 电动蝶阀 真空测头 PID控制 前馈控制
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: IC制造设备与工艺
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TF806.7
• 字数: 2465字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.01.009

摘要

随着晶体生长理论和生长技术的发展,各种高纯度的晶体已经生产出来.这给晶体管的研制创造了便利条件,同时,也对生长设备的要求提出更加严格的要求.论述单晶炉炉内压力的控制;通过调节比例阀的开度起到改变抽气的速率;从而达到调节炉内压力的目的;实现了理想的压力控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红勇		12	20	2.0	4.0
2	王建春		7	14	2.0	3.0
3	方军		1	0	0.0	0.0
4	赵泰延		1	0	0.0	0.0