增强光电图像传感器紫外探测薄膜的制备

• 作者: 倪争技 刘猛 张大伟 谢品 黄元申
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 物理学
• 关键词: Zn2SiO4:Mn 图像传感器 紫外探测 薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2058字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2009.09.005

摘要

传统的CCD、COMS等光电成像器件并不响应紫外光,在CCD、CMOS传感器光敏面镀上"紫外-可见"变频薄膜是增强其紫外响应的一种非常有效的方法.Zn2SiO4: Mn由于粒子直径小,稳定性好,荧光量子效率高等优点,在增强光电器件紫外响应领域有着很广泛的应用前景.实验用"旋涂法"在石英基底上生成Zn2SiO4: Mn紫外增强薄膜,并对其透射光谱、吸收光谱、激发光谱与发射光谱等光学性质进行测量分析.实验测得薄膜在300 nm以下透过率极低,在300 nm以上透过率很高且平稳;对300 nm以下的光具有很强的吸收,对300 nm以上的光吸收很弱且很平稳;激发峰在265 nm,发射峰在525 nm,即能将紫外光转化为可见光.实验结果表明Zn2SiO4: Mn薄膜是一种适用于增强CCD等图像传感器紫外响应的紫外增强薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大伟	上海理工大学光学与电子信息工程学院	117	391	11.0	15.0
2	黄元申	上海理工大学光学与电子信息工程学院	56	348	11.0	16.0
3	倪争技	上海理工大学光学与电子信息工程学院	43	341	12.0	17.0
4	刘猛	上海理工大学光学与电子信息工程学院	8	17	3.0	3.0
5	谢品	上海理工大学光学与电子信息工程学院	3	33	2.0	3.0