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在抑制多晶硅产能过剩的同时要加强对新工艺路线的引导扶持
在抑制多晶硅产能过剩的同时要加强对新工艺路线的引导扶持
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摘要：
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多晶硅制备工艺及发展趋势
多晶硅
流化床法
冶金法
西门子法
多晶硅生产技术发展方向探讨
多晶硅
改良西门子法
高频电源技术
硅烷法
气液沉积法
多晶硅切割液的制备工艺改进
工艺
消化
经济效益
太阳能级多晶硅制备进展
多晶硅
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期刊影响力
精细与专用化学品
主办单位：
中国化工信息中心
金源东和化学有限责任公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1008-1100
CN：
11-3237/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京市安外小关街53号
邮发代号：
82-877
创刊时间：
1986
语种：
chi
出版文献量（篇）
7403
总下载数（次）
24
总被引数（次）
20231
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