多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统

• 作者: 刘祖韬 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 薄膜 材料参数 在线测试
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 427-429
• 页数: 3页
• 分类号: TP206
• 字数: 2411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.153

摘要

建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成.