MEMS微型NO2气体传感器的研究

• 作者: 刘鑫
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 酞菁铜 气体传感器 二氧化氮
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 48-49,52
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.02.016

摘要

采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器,选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜,从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理.阐述了该传感器的结构与工艺流程,并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性.实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性,该传感器可以检测到10-6量级的NO2气体,且响应时间快.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘鑫	黑龙江科技学院计算机与信息工程学院	17	50	4.0	6.0