折叠梁平面角对电容式RF MEMS开关性能的影响

• 作者: 刘婷婷 白竹川 陈营端 高杨
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 射频MEMS开关 弹性折叠梁 平面角 弹性系数
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TM564
• 字数: 2515字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2009.04.004

摘要

低驱动电压电容式RF MEMS开关采用弹性拆叠梁支撑可变电容活动极板,使开关弹性结构具有很小的弹性系数,但也降低了开关的一阶模态谐振频率,致使开关无法获得较高的开关速度.提出了通过调整弹性折叠梁平面角微调弹性结构弹性系数的方法,在保证开关具有低驱动电压的同时,尽可能提高弹性结构的一阶模态谐振频率.仅改变弹性折叠梁平面角的大小,对其分别为0°,45°,90°的具体开关结构,应用MEMS CAD软件CoventorWare进行机电耦合仿真,定性分析了弹性折叠梁平面角对微结构弹性系数的影响.仿真结果表明:改变弹性折叠梁平面角大小,可以微调电容式RF MEMS开关的驱动电压和一阶模态谐振频率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
5	刘婷婷	西南科技大学信息工程学院	36	212	9.0	12.0
6	陈营端	西南科技大学信息工程学院	9	87	6.0	9.0
7	白竹川	西南科技大学制造科学与工程学院	10	95	7.0	9.0