溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的晶粒定向生长与光学性质

• 作者: 余红华 周世彦 庄志强
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶 ZnO 薄膜 光学性质 UV-Vis 带隙
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 83-85,90
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2009.03.028

摘要

采用溶胶一凝胶法在普通化玻片上制备出高C轴择优取向的ZnO薄膜,深入研究了溶胶浓度、甩膜层数、退火温度对薄膜相结构、晶粒定向生长和紫外光吸收与可见光透射特性的影响.实验发现,在300～600℃退火范围之内,随着退火温度的升高,薄膜晶粒生长取向性增强,晶粒尺寸增大;用Zn含量为0.5mol/L的溶胶使用旋涂法甩膜和经过预热处理的5层膜再经过550℃退火1h后所形成的薄膜晶粒沿C轴高度择优取向,结构系数Tc(002)达到5.1,该薄膜的平均透射率为90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄志强	华南理工大学材料与工程学院	61	663	13.0	23.0
2	余红华	华南理工大学材料与工程学院	10	20	3.0	4.0
4	周世彦	华南理工大学材料与工程学院	1	5	1.0	1.0