退火温度对溅射氧化锌薄膜的影响

• 作者: 张韬 徐芸芸 李争鸣
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 扫描电子显微镜 X射线衍射 退火热处理
• 年，卷（期）: 2009,（15）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 80-82
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 2630字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7857.2009.15.017

摘要

利用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了高度C轴择优取向的纳米氧化锌(ZnO)薄膜,采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了退火热处理温度对ZnO薄膜形貌、结构和内应力的影响规律.结果表明:热处理可以明显改善薄膜的结晶质量,薄膜的晶粒变得致密,尺寸也变得均匀;(002)衍射面的晶面间距和内应力均低于未经热处理的样品;当温度高于450℃以后,薄膜的致密度反而下降,部分晶粒异常长大,随着退火温度的逐渐升高,ZnO薄膜(002)衍射面的晶面间距和内应力先减小,到450℃达到最小值,后又逐渐增大,可见450℃热处理后,薄膜的表面形貌、结构和内应力均得到很大的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李争鸣		10	49	2.0	7.0
2	张韬		23	62	3.0	6.0
3	徐芸芸		17	33	3.0	4.0