非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究

• 作者: 张洁 杨孟琳 杨海波 胡明 许路加
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外成像 支撑层 微测辐射热计 微桥结构 厚度比
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 251-254
• 分类号: TN215
• 字数: 2792字
• 语种: 中文

摘要

根据实验室设计的单层微测辐射热计所采用的Si3N4和SiO2双层膜复合支撑结构工艺,分别利用力学的等效截面方法和复合材料热导公式,从理论上推导了微桥桥腿正应力和热导的解析表达式.分析在其它因素不变的情况下,仅调整Si3N4和SiO2两者厚度比值(m)对微测辐射热计力学和热学性质的影响,并用ANSYS有限元仿真的方法验证了理论推导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	杨海波	天津大学电子信息工程学院	13	72	4.0	8.0
3	张洁	天津大学电子信息工程学院	44	215	7.0	12.0
4	许路加	天津大学电子信息工程学院	3	8	2.0	2.0
5	杨孟琳	天津大学电子信息工程学院	2	4	1.0	2.0