微测辐射热计阵列结构的制备

• 作者: 王利霞
• 来源期刊: 南京邮电大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钒 微测辐射热计 MEMS
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TN362
• 字数: 4410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5439.2009.05.010

摘要

为了研究和优化二氧化钒(VO2)微测辐射热计的制备工艺,采用微电子机械系统(MEMS)体硅工艺制备了VO2微测辐射热计,经过研究和改进制备工艺,制得的微测辐射热计结构稳定,成品率高;经测试及计算,其响应率可达34.3 kV/W,探测率为1.2×10~8 cm·Hz~(1/2)/W,响应时间约为65.3 ms.此器件性能达到国内外同类器件水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王利霞	南京邮电大学理学院	8	20	3.0	4.0