测辐射热计微桥结构的形变分析

• 作者: 吴志明 周影 张一中 蒋亚东 许向东
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微桥结构 结构形变 热膨胀 薄膜应力 有限元分析
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 516-519,523
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 3677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.09.006

摘要

采用微加工技术制作测辐射热计阵列时,部分微桥可能发生结构变形,使阵列的性能下降甚至无法正常工作.采用有限元分析方法,对在热膨胀和薄膜应力影响下的I型和L型两种微桥的变形进行了仿真分析,揭示了热膨胀和薄膜应力分别对微桥形变的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴志明	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	78	544	13.0	17.0
2	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
3	许向东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	15	68	6.0	8.0
4	张一中	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	16	2.0	2.0
5	周影	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	9	1.0	1.0