极紫外Mg/SiC双功能多层膜反射镜的设计

• 作者: 袁艳红 赵华 陈锐
• 来源期刊: 上海电机学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 极紫外线 双功能多层膜反射镜 遗传算法 反射率
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 228-231
• 分类号: O484.41
• 字数: 1435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0020.2010.04.010

摘要

根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求,设计了极紫外Mg/SiC双功能多层膜反射镜,并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响.结果表明:5°入射的双功能多层膜反射镜在30.4 nm和58.4 nm处的反射率分别大于41%、小于0.20%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁艳红	上海电机学院数理教学部	20	55	4.0	6.0
2	赵华	上海电机学院数理教学部	19	19	3.0	3.0
3	陈锐	上海电机学院数理教学部	7	5	1.0	2.0