溶胶-凝胶法制备低折射率SiO2薄膜的过程控制研究

• 作者: 王珊
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 镀膜 过程控制
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TB383

摘要

纳米多孔二氧化硅薄膜具有优良的物理化学特性和广阔的应用前景。以溶胶-凝胶法制备低折射率SiO2薄膜为例，对化学法镀膜中的溶胶制备、溶胶保存、薄膜制备等3个阶段进行了研究，利用透射电镜、红外光谱仪、原子力显微镜、椭偏仪等对溶胶和薄膜的特性进行了检测，并对其制备过程进行了控制，这对制备性能良好的薄膜材料及其产业化应用具有一定的指导意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王珊	上海工程技术大学基础教学学院	29	55	5.0	5.0