大角度离子注入机的束流自动调节

• 作者: 孙勇 王迪平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 大角度离子注入机 自动束流调节 菜单 固定法拉第杯 均匀性
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 17-22
• 分类号: TN305.3
• 字数: 4994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.09.004

摘要

阐述了大角度离子注入机的柬流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束.从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙勇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	15	2.0	3.0
2	王迪平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	3	1.0	1.0