张力调节系统在金刚石单线切割设备上的应用

• 作者: 杨生荣 王仲康 衣忠波
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单线切割 线张力 张力调节 碳化硅
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2007字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.04.005

摘要

金刚石单线切割设备主要是针对碳化硅等其他硬脆材料的切割,在单线切割过程中,切割线张力的突然变化会导致切割质量下降,甚至断线,必须增加张力调节系统,介绍了国内外单线切割设备的张力调节系统.