真空度对TiO2薄膜光学和结构特性的影响

• 作者: 王多书 王济洲 王超 董茂进 陈焘
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 TiO2 真空度 光学特性 结构特性
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 233-237
• 分类号: O484.4
• 字数: 3029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2010.04.010

摘要

为制备高性能TiO2光学薄膜,采用离子束辅助,电子束蒸发沉积的方法,研究不同真空度对薄膜性能的影响.真空度随真空室内通氧量增大从1.3×10-3 Pa变化到2.5×10-3 Pa,得到不同光学和结构特性的TiO2薄膜.采用分光光度计测试其光谱,SEM测试其表面形貌.测试结果发现,TiO2薄膜的透过率峰值随真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低而减小,薄膜表面形貌随真空度降低从致密变粗糙.在真空度2.0×10-3Pa的工艺条件下,成膜质量最佳,此时最大透过率92%,折射率在2.45～2.20之间,消光系数在10-4以下.根据Cauchy公式拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.12+5.69×104/λ2+8.07×107/λ4.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王济洲	兰州物理研究所表面工程技术重点实验室	5	51	4.0	5.0
2	王多书	兰州物理研究所表面工程技术重点实验室	26	207	9.0	13.0
3	陈焘	兰州物理研究所表面工程技术重点实验室	23	216	8.0	14.0
4	王超	兰州物理研究所表面工程技术重点实验室	2	22	2.0	2.0
5	董茂进	兰州物理研究所表面工程技术重点实验室	1	7	1.0	1.0