Cu掺杂对ZnO纳米薄膜的结构及其光学特性的影响

• 作者: 丁继军 史新福 周婷婷 毛雷鸣 马书懿 马慧
• 来源期刊: 西北师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: AFM 光致发光 Cu掺杂ZnO薄膜 光学带隙 透射
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 4069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-988X.2010.01.009

摘要

采用磁控溅射法(RF)在玻璃基底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂浓度的ZnO薄膜.使用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)分别对样品的形貌进行了表征,并对ZnO薄膜进行了应力分析.结果显示:所有样品都呈现出(002)衍射峰,有较好的c轴择优取向;所有样品出现有3个发光峰,分别对应于400 nm(3.14 eV,紫光),444 nm(2.78 eV,蓝光),484 nm(2.56 eV,蓝光).紫峰的存在与激子的存在有极大关系,而蓝光发射主要是由于电子从导带上向锌空位形成的浅受主能级上的跃迁.随着Cu掺杂量的增加,薄膜的带隙宽度Eg随之减小,样品光学带隙值由3.26 eV逐渐减小为2.99 eV.实验中还发现,随着Cu掺杂量增加,薄膜的透射率也随之减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马书懿	西北师范大学物理与电子工程学院	69	226	8.0	11.0
2	周婷婷	西北师范大学物理与电子工程学院	4	22	3.0	4.0
3	史新福	西北师范大学物理与电子工程学院	3	19	2.0	3.0
4	毛雷鸣	西北师范大学物理与电子工程学院	3	19	2.0	3.0
5	丁继军	西北师范大学物理与电子工程学院	4	25	3.0	4.0
6	马慧	巢湖学院物理与电子科学系	5	17	2.0	4.0