MEMS三维微触觉力传感器标定方法

• 作者: 傅星 栗大超 王和牛 胡小唐
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 三维微触觉力传感器 标定 悬臂梁 误差补偿
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 335-340
• 分类号: TP212.9
• 字数: 3456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.04.010

摘要

针对一种微机电系统(micro electro mechanical system,MEMS)三维微触觉力传感器,采用悬臂梁弯曲变形获得了标准微小力信号,通过测量传感器敏感梁弹性导致的传感器测杆的微小位移量,对标定过程中的误差进行了补偿,实现了三维微触觉力传感器的精确标定,建立了MEMS三维微触觉力传感器标定系统,对悬臂梁的弹性系数进行了标定,对传感器测头输出的微小电压信号设计了线性化的信号调理电路,标定过程中考虑了由于传感器敏感梁弹性变形导致的传感器测杆的微小位移量对标定精度的影响.采用高精度的纳米测量机(nano-measuring machine,NMM)对传感器测杆的位移特性进行测量,利用该参数对传感器的力特性系数进行误差补偿,最后根据传感器输出的初始电压和力特性系数建立了传感器的力特性输出方程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
3	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
4	王和牛	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	4	1.0	1.0