静电式RF MEMS开关的可靠性

• 作者: 张永华 曹如平 赖宗声
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微电子机械系统(RF MEMS) 开关 可靠性 欧姆接触 介质充电
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 701-707
• 分类号: TN703|TN631
• 字数: 4549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.11.010

摘要

MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件.长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题.主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展.欧姆式开关通常由于黏附或接触电阻的增大而失效,电容式开关的主要失效机理则与电介质层的充电有关.接触材料的选择是决定欧姆开关可靠性最重要的一个因素,"主动断开/被动接触"MEMS开关适用于软金属材料欧姆接触的可靠性要求.改善电容式开关可靠性的途径是改善介电层、优化驱动电压波形等以减小介质层的充电.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖宗声	华东师范大学微电子电路与系统研究所	136	779	13.0	18.0
2	张永华	华东师范大学微电子电路与系统研究所	15	58	5.0	7.0
3	曹如平	华东师范大学微电子电路与系统研究所	1	7	1.0	1.0