阴极电弧TiN膜层的观察检测和比较

• 作者: 吴臻 田凯 胡中军 董骐
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 阴极电弧 TiN 微液滴 划痕仪 膜基结合力 临界载荷
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: O484.5
• 字数: 4410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.01.012

摘要

通过对TiN膜层上和膜层中微液滴的观测,探讨了微液滴对膜层和基底结合力产生的影响,并分析了划痕试验中微液滴破损和膜层剥落之间的关系.在丹普公司开发的AS700DTXB型计算机自动控制离子镀膜机上,通过调整镀膜工艺参数、控制微液滴的尺寸,明显改善了TiN膜层和基底(高速钢和模具钢)的结合力.采用不同的划痕仪检测临界载荷L_(c2)可以稳定在100 N,或者更高;分析和探讨了膜基结合力国内外不同的检测判据和规范.根据实际测量中的经验积累和结果分析,提出了对国内测量标准的修改意见.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董骐		2	27	2.0	2.0
2	田凯		2	27	2.0	2.0
3	胡中军		1	17	1.0	1.0
4	吴臻		1	17	1.0	1.0