化学机械抛光-氧化铈抛光粉的研制

• 作者: 王金玲 黄旭
• 来源期刊: 辽宁建材
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 抛光粉 分散剂 抛光浆
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 12-14
• 分类号: TU56
• 字数: 2984字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/JISSN1009-0142.2010.05.001

摘要

本文用烧结的方法,利用碳酸铈在高温下的分解以制备颗粒大小一定的氧化铈,并以氧化铈,去离子水和分散剂混合制备抛光浆,并检测了在不同条件下制备的抛光粉的抛光能力.本实验确定了抛光粉及抛光浆的制备条件和工艺.讨论了煅烧温度对抛光粉粒度和粒度分布影响,不同抛光粉的抛光能力的影响因素,抛光浆的制备及其对抛光能力的影响,以及分散剂和添加剂对抛光浆性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄旭		7	14	2.0	3.0
2	王金玲		2	9	2.0	2.0