喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用

• 作者: 安建欣 徐利梅 李波
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 数学模型 生产率 保护性喷涂 回归分析 均匀设计
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 机械电子工程
• 页码范围: 461-465
• 分类号: TH162
• 字数: 2972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2010.03.031

摘要

为研究12寸晶圆切割过程中喷涂工艺设备参数对保护性薄膜厚度的影响,提高设备调整效率和工艺质量,采用均匀设计的实验方法,以薄膜在测试量块上的厚度为目标,对影响厚度的主要因素:涂料压力、微调阀和雾化压力进行研究.对实验数据采用SPSS进行非线性逐步回归得到了薄膜厚度的数学模型,揭示了各因素的交互关系,为测机调整提供数据依据,节省大量反复测机时间,在保证工艺质量的同时提高了喷涂设备的生产效率.该模型已成功运用于某芯片封装测试厂的喷涂设备,并取得了显著效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐利梅	电子科技大学空天科学技术研究院	39	267	9.0	15.0
2	李波	电子科技大学空天科学技术研究院	69	486	12.0	17.0
3	安建欣	电子科技大学空天科学技术研究院	1	4	1.0	1.0