激光三角法测量技术在光刻机中的应用

• 作者: 袁秀丽
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 CCD图像传感器 激光三角法
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 34-37
• 分类号: TN307
• 字数: 2090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.05.010

摘要

介绍了激光三角法测量原理和分类,对不同类型进行了分析比较.介绍了CCD的激光三角法高度测量系统在光刻机中的应用及在高度测量时实时和映射两种工作模式.在应用中可以针对不同的测量对象表面的光学特征,使用对应的表格,提高其测量的适应性和测量效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁秀丽	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	11	2.0	3.0