4500W超高压汞灯光源控制系统研究

• 作者: 徐文祥 胡志成 胡松 马平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超高压汞灯 信号放大 温度采样 信号反馈
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 21-23,42
• 页数: 4页
• 分类号: TM923.322
• 字数: 1554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.04.006

摘要

简要介绍了用于超大面积光刻设备汞灯光源控制系统的总体控制方案,重点阐述了该控制系统信号放大电路、灯室温度采样放大电路及信号反馈控制方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	马平	中国科学院光电技术研究所	45	544	12.0	21.0
3	胡志成	中国科学院光电技术研究所	6	20	2.0	4.0
4	徐文祥	中国科学院光电技术研究所	8	42	3.0	6.0