沉积温度对Zn0.95Co0.05O稀磁半导体薄膜结构与磁性的影响

• 作者: 李钰梅 武光明 王怡 邢光建
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Zn0.95Co0.05O薄膜 沉积温度 磁控溅射 磁性
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 465-469
• 分类号: O484
• 字数: 2783字
• 语种: 中文

摘要

本文利用磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了Zn0.95Co0.05O薄膜,考察了沉积温度对Zn0.95Co0.05O样品的结构与磁性的影响.采用XRD、FESEM、XPS和SQUID等方法对样品的结构与磁性进行了表征与分析.XRD结果表明:Zn0.95Co0.05O薄膜样品为纤锌矿结构且具有(002)择优生长,不存在Co和其他杂质相.XPS数据证明:薄膜样品中的Co是以Co2+形式存在,并且Co2+占据ZnO晶格中的Zn原子位.磁滞回线表明:Zn0.95Co0.05O薄膜具有明显的室温铁磁性,随着沉积温度的升高,薄膜的铁磁性逐步减弱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武光明	北京石油化工学院材料科学与工程系	41	238	8.0	14.0
2	王怡	北京石油化工学院数理系	23	121	6.0	10.0
3	邢光建	北京石油化工学院材料科学与工程系	30	127	6.0	11.0
4	李钰梅	北京化工大学材料科学与工程学院	9	87	4.0	9.0