双腔室分子束外延复合体在Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结生长中的应用

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 分子束外延 Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族半导体 设备与技术
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TN304.053
• 语种: 中文

摘要

半导体光电子学是当前科技发展最快的一个领域,光电子器件的增长需要加强新材料技术的研究与开发,Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅳ族纳米结构生长的双腔室分子束外延复合体是目前工艺设备一个最好的例子,可以解决长期以来纳米光子学和纳米电子学的问题.