掺Pd的SnO2介孔薄膜的气敏特性研究

• 作者: 凌云汉 张锦瑞 许军娜
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 介孔 Pd-SnO2薄膜 蒸发诱导自组装 气敏
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 7-9
• 分类号: TP212
• 字数: 2164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2010.07.003

摘要

采用蒸发诱导自组装工艺制备了Pd-SnO2介孔金属氧化物薄膜.采用静态配气法,研究了Pd掺杂量对SnO2元件气敏性的影响,并通过测定电化学阻抗谱,分析了介孔金属氧化物的气敏机理.结果表明:Pd掺杂降低了SnO2元件对氢气初始响应温度,并提高了元件对氢气灵敏度;Pd掺杂量为0.5%时,SnO2元件对氢气的气敏性最好;温度为175 ℃时,0.5%Pd-SnO2对体积分数为1 000×10-6氢气灵敏度为22.6;阻抗分析表明,通入还原性气体后,氧化物的晶界电阻明显减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张锦瑞	河北理工大学资源与环境学院	58	907	17.0	28.0
2	凌云汉	清华大学材料系	28	231	8.0	14.0
3	许军娜	河北理工大学资源与环境学院	3	15	2.0	3.0